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电子探针分析
电子探针分析是利用高能电子束作用于物质,使其产生特征X射线、俄歇电子等二次电子而进行的一种表面、微区分析方法。电子探针分析仪由电子枪、电子透镜、样品室、信号检测、显示系统及真空系统组成。电子枪用以发射具有一定能量的电子束,通过轴对称电场或磁场构成的电子透镜调节电子束的束斑的强度与大小。
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